掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscopy，SPM）是一種高分辨率的顯微技術，可以用來觀察材料表面的原子、分子以及納米級的結構。下面是掃描探針顯微鏡的原理：

1. 探測器和控制系統：掃描探針顯微鏡使用的探針（如原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡）隨機掃描樣品表面，并測量樣品表面的物理性質，如電勢、電磁力等。通過控制系統記錄和控制探測器的掃描軌跡和測量參數。

2. 原理基礎：掃描探針顯微鏡是基于探針和樣品之間的相互作用力進行測量的。探針位于納米尺度，其頂端具有靈敏的探測結構，可以感受到樣品表面的力與距離。通過衡量表面的力或電場的變化，可以重建出樣品表面的三維圖像。

3. 探針掃描：探測器通過納米尺度的探針實現對樣品表面的掃描。掃描的方式可以是原子力顯微鏡中的原子力隨機掃描，或是掃描電子顯微鏡中的電子束掃描。

4. 控制和數據處理系統：控制系統控制探針的運動和掃描軌跡，同時采集和記錄探測器在不同位置的信號。數據處理系統將采集到的信號進行處理和分析，生成對應樣品表面的圖像。

掃描探針顯微鏡的原理主要基于探針與樣品之間的相互作用力，通過探測器的掃描和信號采集，可以實現對樣品表面形貌和物理性質的高分辨率成像。相較于傳統的光學顯微鏡，掃描探針顯微鏡具有更高的分辨率和更強的表面測量能力，因此被廣泛應用于納米科學、表面物理、材料科學等領域。